一种定向凝固法准单晶硅生长炉及准单晶硅的生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310605437.3
申请日
2013-11-26
公开(公告)号
CN103628127A
公开(公告)日
2014-03-12
发明(设计)人
苏文佳 左然
申请人
申请人地址
212013 江苏省镇江市京口区学府路301号
IPC主分类号
C30B1100
IPC分类号
C30B2906
代理机构
南京知识律师事务所 32207
代理人
汪旭东
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种定向凝固法准单晶硅生长炉 [P]. 
苏文佳 ;
左然 .
中国专利 :CN203613300U ,2014-05-28
[2]
单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P]. 
星亮二 ;
菅原孝世 .
中国专利 :CN104619893A ,2015-05-13
[3]
单晶硅生长装置以及单晶硅生长方法 [P]. 
星亮二 ;
菅原孝世 .
中国专利 :CN108823636A ,2018-11-16
[4]
单晶硅生长炉 [P]. 
李秦霖 ;
宋洪伟 .
中国专利 :CN106894082B ,2017-06-27
[5]
单晶硅生长装置及单晶硅生长方法 [P]. 
卢哲玮 ;
薛抗美 .
中国专利 :CN111394784A ,2020-07-10
[6]
单晶硅生长炉 [P]. 
陈俊宏 .
中国专利 :CN218262828U ,2023-01-10
[7]
单晶硅生长炉 [P]. 
张志新 ;
王军 ;
安桂正 .
中国专利 :CN300933376D ,2009-05-27
[8]
单晶硅生长炉 [P]. 
刘磊 ;
武鹏 ;
楼杭炯 ;
王运动 ;
何金凯 ;
贾晨晨 ;
王成龙 ;
张大海 .
中国专利 :CN222935574U ,2025-06-03
[9]
一种准单晶硅锭生长方法 [P]. 
高文秀 ;
李帅 ;
赵百通 .
中国专利 :CN103966660B ,2014-08-06
[10]
用于制备准单晶硅铸锭的坩埚及准单晶硅铸锭的生长方法 [P]. 
史珺 ;
宗卫峰 ;
程素玲 .
中国专利 :CN102995103A ,2013-03-27