一种具有工件摆动装置的化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020554303.9

申请日：

2020-04-14

公开(公告)号：

CN211992443U

公开(公告)日：

2020-11-24

发明(设计)人：

朱文献

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C3栋201

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B4716 B24B4712 B24B3734

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司 44384

代理人：

谭雪婷;梁炎芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[2]

化学机械抛光设备和化学机械抛光方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN108115553A ,2018-06-05

[3]

化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

许振杰 ;

何永勇 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

赵德文 ;

梅赫赓 ;

张连清 ;

裴召辉 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201833275U ,2011-05-18

[4]

化学机械抛光设备 [P].

裴城焄 .

中国专利 :CN101238552A ,2008-08-06

[5]

化学机械抛光设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221621863U ,2024-08-30

[6]

化学机械抛光设备支撑结构及化学机械抛光设备 [P].

尹影 ;

李婷 ;

刘福强 ;

贾若雨 ;

张为强 .

中国专利 :CN109590896A ,2019-04-09

[7]

一种化学机械抛光装置及化学机械抛光设备 [P].

刘永进 .

中国专利 :CN117564929A ,2024-02-20

[8]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[9]

化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P].

邵群 ;

王庆玲 .

中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10

[10]

化学机械抛光工作台及化学机械抛光设备 [P].

尹影 ;

李婷 ;

刘福强 ;

白琨 ;

费玖海 .

中国专利 :CN109500724A ,2019-03-22

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