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一种涂胶显影机用晶圆吸盘
被引：0
申请号：
CN202220219997.X
申请日：
2022-01-26
公开(公告)号：
CN218123375U
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
贺武峰
吴想
申请人：
申请人地址：
334000 江西省上饶市经济技术开发区光电创谷路9号厂房
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
南昌金轩知识产权代理有限公司 36129
代理人：
高娜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-23 | 授权 | 授权 |