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一种涂胶显影机用晶圆吸盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420658020.7
申请日：
2024-04-01
公开(公告)号：
CN222546330U
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
孙晓东
闻杰
申请人：
上海讯颖电子科技有限公司
申请人地址：
201400 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢8层
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
G03F7/16
代理机构：
北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738
代理人：
冯祥赫
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-28 | 授权 | 授权 |