一种层间图形对准精度的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210332728.5

申请日：

2012-09-11

公开(公告)号：

CN102880011A

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

严孝年危兆玲杨毓铭

申请人：

申请人地址：

300457 天津市滨海新区开发区黄海路167号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 G01B1100

代理机构：

合肥金安专利事务所 34114

代理人：

林飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401521900 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012103327285 申请日:20120911
2014-12-10	授权	授权
2013-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻对准精度检测方法 [P].

李钢 ;

顾以理 ;

孙贤波 ;

钟政 ;

张迎春 ;

夏建慧 ;

李扬环 ;

刘夏英 .

中国专利 :CN102522360B ,2012-06-27

[2]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136A ,2024-03-12

[3]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136B ,2024-04-16

[4]

一种光刻版组件及检测光刻对准精度的方法 [P].

雷刚 ;

沈恋英 .

中国专利 :CN103869603B ,2014-06-18

[5]

一种缝合工艺对准精度的检测方法及结构 [P].

张武志 .

中国专利 :CN105241367A ,2016-01-13

[6]

放疗设备对准精度检测装置及检测方法 [P].

黄旭帆 ;

刘贤洪 ;

杨沁 .

中国专利 :CN119573566A ,2025-03-07

[7]

提高层间对准精度的多层挠性板制备方法 [P].

伍长根 .

中国专利 :CN112839447B ,2021-05-25

[8]

阵列基板及其制造方法与对准精度检测方法 [P].

游景文 ;

黄俊灵 ;

黄费慧 ;

江华 .

中国专利 :CN110716359A ,2020-01-21

[9]

一种提升电路板层间对准精度的熔合铆合方法 [P].

梁鸿飞 ;

陈世金 ;

郭茂桂 ;

许伟廉 ;

韩志伟 ;

叶新锦 ;

徐缓 .

中国专利 :CN111800959A ,2020-10-20

[10]

一种PCB层间对准度的检测方法 [P].

常选委 ;

许伟廉 ;

黄李海 ;

韩志伟 ;

冯冲 ;

李长生 ;

李云萍 .

中国专利 :CN120897340A ,2025-11-04

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