一种拼接光栅对准精度检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410153879.7

申请日：

2024-02-04

公开(公告)号：

CN117687136B

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

陈火耀刘斌

申请人：

安徽中科光栅科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市肥东县长临河镇科创小镇1号3#楼

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G03F7/20 G01M11/02

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

刘吉意

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/18申请日:20240204
2024-03-12	公开	公开
2024-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136A ,2024-03-12

[2]

光刻对准精度检测方法 [P].

李钢 ;

顾以理 ;

孙贤波 ;

钟政 ;

张迎春 ;

夏建慧 ;

李扬环 ;

刘夏英 .

中国专利 :CN102522360B ,2012-06-27

[3]

一种虚实光栅对准方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687135B ,2024-04-16

[4]

一种虚实光栅对准方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687135A ,2024-03-12

[5]

一种层间图形对准精度的检测方法 [P].

严孝年 ;

危兆玲 ;

杨毓铭 .

中国专利 :CN102880011A ,2013-01-16

[6]

放疗设备对准精度检测装置及检测方法 [P].

黄旭帆 ;

刘贤洪 ;

杨沁 .

中国专利 :CN119573566A ,2025-03-07

[7]

一种缝合工艺对准精度的检测方法及结构 [P].

张武志 .

中国专利 :CN105241367A ,2016-01-13

[8]

阵列基板及其制造方法与对准精度检测方法 [P].

游景文 ;

黄俊灵 ;

黄费慧 ;

江华 .

中国专利 :CN110716359A ,2020-01-21

[9]

一种光刻版组件及检测光刻对准精度的方法 [P].

雷刚 ;

沈恋英 .

中国专利 :CN103869603B ,2014-06-18

[10]

一种键合对准精度的检测方法和半导体器件 [P].

程晋广 ;

陈福成 ;

施林波 .

中国专利 :CN108206142B ,2018-06-26

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