一种虚实光栅对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410153877.8

申请日：

2024-02-04

公开(公告)号：

CN117687135B

公开(公告)日：

2024-04-16

发明(设计)人：

陈火耀刘斌

申请人：

安徽中科光栅科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市肥东县长临河镇科创小镇1号3#楼

IPC主分类号：

G02B5/18

IPC分类号：

G03F7/20 G03F9/00

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

刘吉意

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省合肥市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/18申请日:20240204
2024-03-12	公开	公开
2024-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种虚实光栅对准方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687135A ,2024-03-12

[2]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136A ,2024-03-12

[3]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136B ,2024-04-16

[4]

一种双光栅对准标记、对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

贺洁 ;

朱梓旭 ;

方青林 .

中国专利 :CN119556540A ,2025-03-04

[5]

一种光栅对准方法、光栅结构加工方法及光波导镜片 [P].

孟祥峰 ;

董文浩 ;

冒新宇 .

中国专利 :CN115144944B ,2022-10-04

[6]

一种用于光刻对准的光栅标记及其对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

方青林 ;

贺洁 ;

朱梓旭 .

中国专利 :CN119828428B ,2025-10-03

[7]

一种用于光刻对准的光栅标记及其对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

方青林 ;

贺洁 ;

朱梓旭 .

中国专利 :CN119828428A ,2025-04-15

[8]

一种对准光栅组及其光栅的制作方法 [P].

王亮 ;

秦金 ;

丁立 .

中国专利 :CN105242502B ,2016-01-13

[9]

一种对准装置和对准方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 .

中国专利 :CN106933055A ,2017-07-07

[10]

基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法 [P].

程依光 ;

朱江平 ;

胡松 ;

赵立新 ;

陈磊 ;

刘俊伯 .

中国专利 :CN103838093B ,2014-06-04

← 1 2 3 4 5 →