一种缝合工艺对准精度的检测方法及结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510703866.3

申请日：

2015-10-26

公开(公告)号：

CN105241367A

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

张武志

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

G01B702

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

俞涤炯

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 7/02 申请公布日:20160113
2016-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655958457 IPC(主分类):G01B 7/02 专利申请号:2015107038663 申请日:20151026
2016-01-13	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻对准精度检测方法 [P].

李钢 ;

顾以理 ;

孙贤波 ;

钟政 ;

张迎春 ;

夏建慧 ;

李扬环 ;

刘夏英 .

中国专利 :CN102522360B ,2012-06-27

[2]

一种光刻版组件及检测光刻对准精度的方法 [P].

雷刚 ;

沈恋英 .

中国专利 :CN103869603B ,2014-06-18

[3]

半导体结构及其对准精度的检测方法、制作方法 [P].

章恒嘉 .

中国专利 :CN118486679A ,2024-08-13

[4]

放疗设备对准精度检测装置及检测方法 [P].

黄旭帆 ;

刘贤洪 ;

杨沁 .

中国专利 :CN119573566A ,2025-03-07

[5]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136A ,2024-03-12

[6]

一种拼接光栅对准精度检测方法 [P].

陈火耀 ;

刘斌 .

中国专利 :CN117687136B ,2024-04-16

[7]

一种层间图形对准精度的检测方法 [P].

严孝年 ;

危兆玲 ;

杨毓铭 .

中国专利 :CN102880011A ,2013-01-16

[8]

晶圆键合对准精度的测量方法及结构 [P].

徐爱斌 ;

王俊杰 .

中国专利 :CN114014261A ,2022-02-08

[9]

阵列基板及其制造方法与对准精度检测方法 [P].

游景文 ;

黄俊灵 ;

黄费慧 ;

江华 .

中国专利 :CN110716359A ,2020-01-21

[10]

一种改善光刻机对准精度的方法 [P].

吴鹏 ;

李文亮 ;

邵志忙 ;

陈力钧 ;

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102967996A ,2013-03-13

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