一种晶圆位置检测校对装置

被引：0

申请号：

CN202220563668.7

申请日：

2022-03-15

公开(公告)号：

CN216848196U

公开(公告)日：

2022-06-28

发明(设计)人：

梁少敏陈洪立俞智勇杨亮亮

申请人：

申请人地址：

226300 江苏省南通市高新区新世纪大道266号江海智汇园D8栋

IPC主分类号：

G01V820

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738

代理人：

章建声

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆位置检测校对装置 [P].

莫景钊 ;

叶纬 ;

莫景新 .

中国专利 :CN213022913U ,2021-04-20

[2]

一种晶圆位置检测校对装置 [P].

吴卓鸿 ;

顾卫民 .

中国专利 :CN222775283U ,2025-04-18

[3]

一种晶圆位置的检测校对装置 [P].

杨凯翔 ;

陈朝杰 ;

张文清 .

中国专利 :CN217158119U ,2022-08-09

[4]

一种晶圆位置检测校对装置 [P].

周军 ;

钟国华 ;

李雄 .

中国专利 :CN118763020A ,2024-10-11

[5]

一种晶圆位置检测校对平台 [P].

范银波 .

中国专利 :CN218414483U ,2023-01-31

[6]

一种晶圆检测装置 [P].

朱俊 ;

周志豪 .

中国专利 :CN208383063U ,2019-01-15

[7]

一种晶圆检测装置 [P].

曹肖肖 ;

汪涛 ;

杨维军 ;

薄文慧 .

中国专利 :CN222883490U ,2025-05-16

[8]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[9]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[10]

一种晶圆位置检测装置 [P].

陈增亮 ;

魏寅 ;

刘乐 ;

曾岩 ;

吴志军 ;

李安平 .

中国专利 :CN220820260U ,2024-04-19

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