单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010135124.6

申请日：

2020-03-02

公开(公告)号：

CN111323616B

公开(公告)日：

2020-06-23

发明(设计)人：

赵成杨义军朱骏郭鹏飞王健

申请人：

申请人地址：

225000 江苏省扬州市开发区大学南路88号

IPC主分类号：

G01P15125

IPC分类号：

G01P1518 B81C100 B81B300

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

董旭东;陈栋智

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-15	授权	授权
2020-06-23	公开	公开
2020-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/125 申请日:20200302

共 50 条

[1]

低深宽比的单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法 [P].

赵成 ;

杨义军 ;

朱骏 ;

郭鹏飞 ;

王健 .

中国专利 :CN111289772B ,2020-06-16

[2]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258B ,2025-02-11

[3]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258A ,2021-05-04

[4]

MEMS三轴加速度计 [P].

张沛 ;

庄瑞芬 ;

陈嘉辉 ;

李诺伦 .

中国专利 :CN114487483A ,2022-05-13

[5]

单质量平板三轴微机械加速度计 [P].

苑伟政 ;

常洪龙 .

中国专利 :CN1332205C ,2005-03-23

[6]

一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计 [P].

邓佩刚 ;

杨政 .

中国专利 :CN103941041A ,2014-07-23

[7]

MEMS三轴加速度计及其制造方法 [P].

吴亚明 ;

杨丹琼 ;

徐静 ;

钟少龙 .

中国专利 :CN102798734B ,2012-11-28

[8]

三轴加速度计 [P].

裘进 .

中国专利 :CN104459200A ,2015-03-25

[9]

多轴单质量体加速度计 [P].

C.A.M.费伯 .

中国专利 :CN108431637A ,2018-08-21

[10]

一种单质量三轴MEMS加速度计敏感结构 [P].

张乐民 ;

刘福民 ;

刘国文 ;

李兆涵 ;

徐宇新 ;

王学锋 .

中国专利 :CN115201515B ,2024-07-09

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