一种单质量三轴MEMS加速度计敏感结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210743282.9

申请日：

2022-06-27

公开(公告)号：

CN115201515B

公开(公告)日：

2024-07-09

发明(设计)人：

张乐民刘福民刘国文李兆涵徐宇新王学锋

申请人：

北京航天控制仪器研究所

申请人地址：

100854 北京市海淀区北京142信箱403分箱

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

代理机构：

中国航天科技专利中心 11009

代理人：

张辉

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-09	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS三轴加速度计 [P].

张沛 ;

庄瑞芬 ;

陈嘉辉 ;

李诺伦 .

中国专利 :CN114487483A ,2022-05-13

[2]

单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法 [P].

赵成 ;

杨义军 ;

朱骏 ;

郭鹏飞 ;

王健 .

中国专利 :CN111323616B ,2020-06-23

[3]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

张勇 .

中国专利 :CN213181596U ,2021-05-11

[4]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

范宏斌 ;

王岩 ;

周瑞 ;

张恒基 ;

罗鹏 .

中国专利 :CN120427940B ,2025-09-19

[5]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

范宏斌 ;

王岩 ;

周瑞 ;

张恒基 ;

罗鹏 .

中国专利 :CN120427940A ,2025-08-05

[6]

一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计 [P].

邓佩刚 ;

杨政 .

中国专利 :CN103941041A ,2014-07-23

[7]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258B ,2025-02-11

[8]

单质量平板三轴微机械加速度计 [P].

苑伟政 ;

常洪龙 .

中国专利 :CN1332205C ,2005-03-23

[9]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258A ,2021-05-04

[10]

多轴单质量体加速度计 [P].

C.A.M.费伯 .

中国专利 :CN108431637A ,2018-08-21

← 1 2 3 4 5 →