一种三框架结构的单质量块三轴MEMS加速度计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410124054.9

申请日：

2014-03-28

公开(公告)号：

CN103941041A

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

邓佩刚杨政

申请人：

申请人地址：

430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋

IPC主分类号：

G01P1512

IPC分类号：

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

黄冠华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-23	公开	公开
2016-08-17	授权	授权
2014-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587017576 IPC(主分类):G01P 15/12 专利申请号:2014101240549 申请日:20140328

共 50 条

[1]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258B ,2025-02-11

[2]

基于单质量块的三轴加速度计 [P].

蒋乐跃 ;

赵阳 .

中国专利 :CN112748258A ,2021-05-04

[3]

单质量块三轴MEMS惯性加速度计及其制备方法 [P].

赵成 ;

杨义军 ;

朱骏 ;

郭鹏飞 ;

王健 .

中国专利 :CN111323616B ,2020-06-23

[4]

一种单质量三轴MEMS加速度计敏感结构 [P].

张乐民 ;

刘福民 ;

刘国文 ;

李兆涵 ;

徐宇新 ;

王学锋 .

中国专利 :CN115201515B ,2024-07-09

[5]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

范宏斌 ;

王岩 ;

周瑞 ;

张恒基 ;

罗鹏 .

中国专利 :CN120427940B ,2025-09-19

[6]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

范宏斌 ;

王岩 ;

周瑞 ;

张恒基 ;

罗鹏 .

中国专利 :CN120427940A ,2025-08-05

[7]

MEMS三轴加速度计 [P].

张沛 ;

庄瑞芬 ;

陈嘉辉 ;

李诺伦 .

中国专利 :CN114487483A ,2022-05-13

[8]

一种三轴MEMS加速度计 [P].

张勇 .

中国专利 :CN213181596U ,2021-05-11

[9]

单质量平板三轴微机械加速度计 [P].

苑伟政 ;

常洪龙 .

中国专利 :CN1332205C ,2005-03-23

[10]

MEMS三轴加速度计及其制造方法 [P].

吴亚明 ;

杨丹琼 ;

徐静 ;

钟少龙 .

中国专利 :CN102798734B ,2012-11-28

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