一种投影光刻机的硅片台对准机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210026710.2

申请日：

2012-02-07

公开(公告)号：

CN102566316A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

胡淘胡松邢薇徐文祥

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

许玉明;贾玉忠

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101700677054 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100267102 申请公布日:20120711
2012-07-11	公开	公开
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324743884 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012100267102 申请日:20120207

共 50 条

[1]

一种投影光刻机的硅片台微旋转机构 [P].

胡淘 ;

胡松 ;

邢薇 ;

徐文祥 .

中国专利 :CN102087485A ,2011-06-08

[2]

光学投影光刻机 [P].

王笑冰 ;

李建兵 ;

张海明 .

中国专利 :CN102944985A ,2013-02-27

[3]

步进投影光刻机 [P].

刘正浩 ;

何渝 ;

唐燕 ;

刘俊伯 ;

杜婧 ;

冯金花 .

中国专利 :CN305302764S ,2019-08-13

[4]

步进投影光刻机 [P].

蒋薇 ;

王楠 ;

胡松 .

中国专利 :CN303108010S ,2015-02-18

[5]

全自动投影光刻机 [P].

张其文 ;

扶小莲 ;

刘阳波 ;

陈正洪 .

中国专利 :CN221056828U ,2024-05-31

[6]

投影光刻机的离轴对准装置及对准调节方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN104898376A ,2015-09-09

[7]

步进投影光刻机双台轮换曝光超精密定位硅片台系统 [P].

汪劲松 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

杨学智 ;

徐登峰 ;

杨开明 ;

朱立伟 ;

王建发 ;

于晖 .

中国专利 :CN1200321C ,2004-03-31

[8]

一种激光干涉投影光刻机 [P].

卢金荣 .

中国专利 :CN217954910U ,2022-12-02

[9]

一种步进扫描投影光刻机掩模台硅片台扫描运动同步误差校正系统 [P].

李兰兰 ;

胡松 ;

赵立新 ;

马平 ;

刘旗 ;

李金龙 ;

钟玲娜 .

中国专利 :CN103207531B ,2013-07-17

[10]

一种用于投影光刻机同轴模糊图像的标记对准方法 [P].

李昱阳 ;

俞大杰 ;

孙海峰 ;

李艳丽 ;

康霞 ;

龚健文 ;

杨瑞琳 .

中国专利 :CN119273730A ,2025-01-07

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