半绝缘半导体电阻率气控悬浮式探针电容探头及测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710213965.2

申请日：

2017-04-01

公开(公告)号：

CN106771626A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

王昕苟永江冯小明

申请人：

申请人地址：

510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼

IPC主分类号：

G01R2702

IPC分类号：

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

刘巧霞;裘晖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	公开	公开
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729171807 IPC(主分类):G01R 27/02 专利申请号:2017102139652 申请日:20170401

共 50 条

[1]

半绝缘半导体电阻率气控悬浮式探针电容探头 [P].

王昕 ;

苟永江 ;

冯小明 .

中国专利 :CN206649081U ,2017-11-17

[2]

基于电容充放电原理的半绝缘半导体电阻率测绘仪 [P].

王昕 ;

李俊生 ;

冯小明 ;

田蕾 .

中国专利 :CN205139247U ,2016-04-06

[3]

一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置 [P].

王昕 ;

田蕾 ;

李俊生 .

中国专利 :CN206773072U ,2017-12-19

[4]

半导体硅片的电阻率测试方法及测试结构 [P].

许丹 .

中国专利 :CN102928669A ,2013-02-13

[5]

便携式半导体非接触电阻率测试仪探头 [P].

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN304279306S ,2017-09-12

[6]

一种半导体电阻率测试机构 [P].

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN208207067U ,2018-12-07

[7]

一种半导体电阻率测试仪 [P].

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN208207073U ,2018-12-07

[8]

半导体薄膜材料低温电阻率测试设备 [P].

曹先存 ;

彭震宇 ;

吕衍秋 ;

姚官生 ;

张亮 ;

沈祥伟 ;

王理文 ;

李龙 .

中国专利 :CN106507948B ,2014-03-05

[9]

半导体原材料电阻率快速便携式测试仪器 [P].

毛小彦 ;

徐晓明 .

中国专利 :CN202066911U ,2011-12-07

[10]

基于电容充放电原理的半导体电阻率测绘仪及测绘方法 [P].

王昕 ;

李俊生 ;

赵昭 ;

冯小明 ;

田蕾 .

中国专利 :CN105158568B ,2015-12-16

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