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外延层厚度测试工装及其测试外延层厚度的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911101582.1
申请日：
2019-11-12
公开(公告)号：
CN110926349B
公开(公告)日：
2020-03-27
发明(设计)人：
申晨
李乾
王丛
折伟林
高达
韩岗
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
工业和信息化部电子专利中心 11010
代理人：
张然
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-03 | 授权 | 授权 |
| 2020-04-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20191112 |