一种测量外延片的外延层厚度的方法

被引：0

申请号：

CN202210340751.2

申请日：

2022-03-29

公开(公告)号：

CN114739300A

公开(公告)日：

2022-07-12

发明(设计)人：

余先育张兴华唐德明

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区国定路323号3层(集中登记地)

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313

代理人：

张东梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20220329
2022-07-12	公开	公开

共 50 条

[1]

用于测量外延片的外延层厚度的载物台及系统 [P].

余先育 ;

张兴华 ;

唐德明 .

中国专利 :CN217306474U ,2022-08-26

[2]

一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法 [P].

徐新华 .

中国专利 :CN119133081A ,2024-12-13

[3]

一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法 [P].

徐新华 .

中国专利 :CN119133081B ,2025-04-08

[4]

一种外延片层的厚度测量方法 [P].

杨文帆 ;

王俊 ;

程洋 ;

詹文博 ;

赵武 ;

李婷 ;

闵大勇 .

中国专利 :CN119687839A ,2025-03-25

[5]

一种外延片层的厚度测量方法 [P].

杨文帆 ;

王俊 ;

程洋 ;

詹文博 ;

赵武 ;

李婷 ;

闵大勇 .

中国专利 :CN119687839B ,2025-07-08

[6]

一种外延片厚度测量方法及测量系统 [P].

张凌云 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN111578852A ,2020-08-25

[7]

外延层厚度的测量方法 [P].

严耿昕 ;

曹敏 ;

张凯元 ;

姜俏 .

中国专利 :CN119905415A ,2025-04-29

[8]

外延层厚度测试工装及其测试外延层厚度的方法 [P].

申晨 ;

李乾 ;

王丛 ;

折伟林 ;

高达 ;

韩岗 .

中国专利 :CN110926349B ,2020-03-27

[9]

外延结构及其制备方法、外延结构的外延层厚度监控方法 [P].

李仕强 ;

张晖 .

中国专利 :CN119495585A ,2025-02-21

[10]

带浅表外延层的外延片形成方法及其外延片 [P].

吴小利 ;

许丹 .

中国专利 :CN101777498A ,2010-07-14

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