一种三维芯片集成结构及其加工方法

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申请号
CN202110173007.3
申请日
2021-02-08
公开(公告)号
CN114914213A
公开(公告)日
2022-08-16
发明(设计)人
汪晓红 饶伟 张朋举
申请人
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村东路29号
IPC主分类号
H01L2348
IPC分类号
H01L23367 H01L23373 H01L25065 H01L21768 H01L2198
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人
盛大文
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
一种三维芯片集成结构及其加工方法 [P]. 
汪晓红 ;
饶伟 ;
张朋举 .
中国专利 :CN114914213B ,2025-06-24
[2]
一种三维芯片集成结构及其加工工艺 [P]. 
靖向萌 .
中国专利 :CN104637909A ,2015-05-20
[3]
一种改进的三维芯片集成结构及其加工工艺 [P]. 
靖向萌 .
中国专利 :CN104617072A ,2015-05-13
[4]
一种三维堆叠集成结构及其多芯片集成结构和制备方法 [P]. 
李宝霞 .
中国专利 :CN111312697A ,2020-06-19
[5]
三维集成芯片、三维集成芯片的测试方法以及检测装置 [P]. 
付妮 .
中国专利 :CN114910779A ,2022-08-16
[6]
三维集成芯片、三维集成芯片的测试方法以及检测装置 [P]. 
付妮 .
中国专利 :CN114910779B ,2025-09-02
[7]
一种三维芯片封装结构及其制造方法 [P]. 
徐健 ;
田陌晨 ;
温德鑫 ;
祝俊东 .
中国专利 :CN116884929B ,2025-07-11
[8]
一种三维芯片封装结构及其制造方法 [P]. 
徐健 ;
田陌晨 ;
温德鑫 ;
祝俊东 .
中国专利 :CN119447134A ,2025-02-14
[9]
一种三维芯片封装结构及其制造方法 [P]. 
徐健 ;
田陌晨 ;
温德鑫 ;
祝俊东 .
中国专利 :CN119028963A ,2024-11-26
[10]
三维芯片、三维芯片集成验证方法、验证装置、电子设备 [P]. 
龙晓东 ;
薛小飞 ;
韩彦武 .
中国专利 :CN112364598B ,2024-06-25