一种硅纳米线的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410187278.4

申请日：

2014-05-06

公开(公告)号：

CN105097529B

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

凌龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

B82Y4000

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638523338 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2014101872784 申请日:20140506
2015-11-25	公开	公开
2017-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

硅纳米线的制备方法 [P].

范春晖 ;

王全 .

中国专利 :CN102086024A ,2011-06-08

[2]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

范春晖 ;

王全 .

中国专利 :CN102427023A ,2012-04-25

[3]

一种单晶硅衬底上制备硅纳米线的方法 [P].

范春晖 .

中国专利 :CN102496563A ,2012-06-13

[4]

硅纳米线的制备方法 [P].

曾湘波 ;

廖显伯 ;

刁宏伟 ;

向贤碧 ;

孔光临 ;

徐艳月 ;

张世斌 .

中国专利 :CN1796267A ,2006-07-05

[5]

一种制备硅纳米线的方法 [P].

霍海滨 ;

戴伦 ;

秦国刚 ;

杨卫全 ;

马仁敏 .

中国专利 :CN101165004A ,2008-04-23

[6]

硅纳米线围栅器件的制备方法 [P].

范春晖 ;

周伟 .

中国专利 :CN102142376A ,2011-08-03

[7]

一种硅纳米线及其制备方法 [P].

许向东 ;

王银川 ;

刘忠范 .

中国专利 :CN1590599A ,2005-03-09

[8]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

姚楚豪 ;

李海亮 ;

谢常青 .

中国专利 :CN113345796A ,2021-09-03

[9]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

李铁 ;

鲁梓程 ;

王跃林 .

中国专利 :CN110203879A ,2019-09-06

[10]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

蒋向东 ;

伍海峰 ;

王继岷 ;

孙悦 .

中国专利 :CN105568223A ,2016-05-11

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