一种硅纳米线的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110401641.4

申请日：

2011-12-06

公开(公告)号：

CN102427023A

公开(公告)日：

2012-04-25

发明(设计)人：

范春晖王全

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	授权	授权
2012-04-25	公开	公开
2014-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101560736620 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2011104016414 申请日:20111206

共 50 条

[1]

硅纳米线围栅器件的制备方法 [P].

范春晖 ;

周伟 .

中国专利 :CN102142376A ,2011-08-03

[2]

硅纳米线的制备方法 [P].

范春晖 ;

王全 .

中国专利 :CN102086024A ,2011-06-08

[3]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

凌龙 .

中国专利 :CN105097529B ,2015-11-25

[4]

硅纳米线的制备方法 [P].

曾湘波 ;

廖显伯 ;

刁宏伟 ;

向贤碧 ;

孔光临 ;

徐艳月 ;

张世斌 .

中国专利 :CN1796267A ,2006-07-05

[5]

一种制备硅纳米线的方法 [P].

霍海滨 ;

戴伦 ;

秦国刚 ;

杨卫全 ;

马仁敏 .

中国专利 :CN101165004A ,2008-04-23

[6]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

田伟 ;

陶继方 ;

温良恭 .

中国专利 :CN121158724A ,2025-12-19

[7]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

姚楚豪 ;

李海亮 ;

谢常青 .

中国专利 :CN113345796A ,2021-09-03

[8]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

李铁 ;

鲁梓程 ;

王跃林 .

中国专利 :CN110203879A ,2019-09-06

[9]

一种硅纳米线的制备方法 [P].

蒋向东 ;

伍海峰 ;

王继岷 ;

孙悦 .

中国专利 :CN105568223A ,2016-05-11

[10]

应变硅纳米线NMOSFET的制备方法 [P].

黄晓橹 .

中国专利 :CN102683204A ,2012-09-19

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