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一种硅光三维集成光谱仪及其光学芯片的制备方法
被引：0
申请号：
CN202210070515.3
申请日：
2022-01-26
公开(公告)号：
CN114280724A
公开(公告)日：
2022-04-05
发明(设计)人：
陈晓刚
胡朝阳
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区平胜路1号
IPC主分类号：
G02B612
IPC分类号：
G02B6122
代理机构：
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人：
徐会娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20220126 |
| 2022-04-05 | 公开 | 公开 |