内置排气装置的单晶炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420329579.1

申请日：

2014-06-20

公开(公告)号：

CN203923441U

公开(公告)日：

2014-11-05

发明(设计)人：

李德建赵会刚张晓朋

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市大曹庄管理区

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

河北东尚律师事务所 13124

代理人：

王文庆

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20140620 授权公告日:20141105 终止日期:20180620
2014-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶炉排气装置 [P].

周浩 .

中国专利 :CN202415734U ,2012-09-05

[2]

一种单晶炉热场排气装置 [P].

査建洪 ;

施宇峰 ;

査如德 .

中国专利 :CN201908153U ,2011-07-27

[3]

一种单晶炉侧排气装置 [P].

王辉 ;

吴桂松 ;

孙学军 ;

王鹏 ;

张经行 ;

刘建军 ;

党文全 ;

许生发 ;

魏光艳 .

中国专利 :CN207143368U ,2018-03-27

[4]

单晶炉的排气装置及其控制方法 [P].

刘海东 ;

武晓峰 ;

张丰军 .

中国专利 :CN119956468A ,2025-05-09

[5]

单晶炉腔体排气装置 [P].

李远田 ;

佘辉 ;

郭晓琛 .

中国专利 :CN216445499U ,2022-05-06

[6]

一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉 [P].

吴春生 ;

姜宏伟 .

中国专利 :CN208008945U ,2018-10-26

[7]

一种直拉单晶炉底部排气装置 [P].

冯立学 ;

张玉峰 ;

冯金涛 .

中国专利 :CN216998659U ,2022-07-19

[8]

单晶炉台排气装置 [P].

王林 ;

张文霞 ;

郭谦 ;

康学兵 .

中国专利 :CN220952172U ,2024-05-14

[9]

用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉 [P].

李维霞 ;

闫洪嘉 ;

张鹏 .

中国专利 :CN119877084B ,2025-06-20

[10]

用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉 [P].

李维霞 ;

闫洪嘉 ;

张鹏 .

中国专利 :CN119877084A ,2025-04-25

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