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一种半导体芯片检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121549375.5
申请日：
2021-07-09
公开(公告)号：
CN215575505U
公开(公告)日：
2022-01-18
发明(设计)人：
邹伟玲
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市福田区福田街道福山社区滨河大道5016号万景花园001-M号
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R114
G01R102
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-18 | 授权 | 授权 |