一种外延反应设备

被引：0

申请号：

CN202210072642.7

申请日：

2022-01-21

公开(公告)号：

CN114411247A

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

肖蕴章黄帅帅刘亮辉杨方刘佳明徐鑫经军辉陈炳安钟国仿

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

C30B2512 C30B2514 C30B2936

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

贾耀斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	公开	公开
2022-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20220121

共 50 条

[1]

一种外延反应设备 [P].

王力 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN109594063A ,2019-04-09

[2]

一种外延反应设备 [P].

王力 ;

金柱炫 ;

方圭哲 .

中国专利 :CN110396680A ,2019-11-01

[3]

一种变温外延反应设备 [P].

丁欣 .

中国专利 :CN117966261A ,2024-05-03

[4]

一种晶圆外延反应设备 [P].

刘凯 .

中国专利 :CN112216636A ,2021-01-12

[5]

门阀装置及外延反应设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN222085280U ,2024-11-29

[6]

反应设备 [P].

陆一骅 ;

谢臻杰 .

中国专利 :CN223542958U ,2025-11-14

[7]

一种碳化反应设备 [P].

丘建强 .

中国专利 :CN212142581U ,2020-12-15

[8]

一种反应装置及反应设备 [P].

王文熙 ;

孟凡国 ;

魏猛 ;

李朋卿 ;

邵志成 .

中国专利 :CN110841587A ,2020-02-28

[9]

一种反应装置及反应设备 [P].

王文熙 ;

孟凡国 ;

魏猛 ;

李朋卿 ;

邵志成 .

中国专利 :CN211964209U ,2020-11-20

[10]

一种反应装置及反应设备 [P].

王文熙 ;

孟凡国 ;

魏猛 ;

李朋卿 ;

邵志成 .

中国专利 :CN110841587B ,2024-09-13

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