一种变温外延反应设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311598279.3

申请日：

2023-11-27

公开(公告)号：

CN117966261A

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

丁欣

申请人：

上海埃延半导体有限公司

申请人地址：

200131 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区新杨公路1588号4幢

IPC主分类号：

C30B25/08

IPC分类号：

C30B25/16 C30B25/10 C30B29/06

代理机构：

上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313

代理人：

张东梅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/08申请日:20231127
2024-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种外延反应设备 [P].

王力 ;

金柱炫 ;

方圭哲 .

中国专利 :CN110396680A ,2019-11-01

[2]

一种外延反应设备 [P].

王力 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN109594063A ,2019-04-09

[3]

一种外延反应设备 [P].

肖蕴章 ;

黄帅帅 ;

刘亮辉 ;

杨方 ;

刘佳明 ;

徐鑫 ;

经军辉 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN114411247A ,2022-04-29

[4]

一种晶圆外延反应设备 [P].

刘凯 .

中国专利 :CN112216636A ,2021-01-12

[5]

一种反应设备的自动控温系统 [P].

曹庆华 .

中国专利 :CN205868223U ,2017-01-11

[6]

门阀装置及外延反应设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN222085280U ,2024-11-29

[7]

一种连续反应设备 [P].

宋芬 ;

王祥 ;

刘珍珍 ;

袁茂全 .

中国专利 :CN222174024U ,2024-12-17

[8]

一种自动监测控温一体反应设备 [P].

闻开学 .

中国专利 :CN207307846U ,2018-05-04

[9]

一种外延反应腔和化学气相外延设备 [P].

孙伟 .

中国专利 :CN107435165A ,2017-12-05

[10]

水性涂料控温反应设备 [P].

张玺 ;

毛双元 ;

夏小海 ;

夏艳 ;

罗浩 ;

付波 ;

李云彩 .

中国专利 :CN208145970U ,2018-11-27

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