一种外延反应设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910654618.2

申请日：

2019-07-19

公开(公告)号：

CN110396680A

公开(公告)日：

2019-11-01

发明(设计)人：

王力金柱炫方圭哲

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;刘伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	公开	公开
2023-01-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20191101
2019-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20190719
2021-10-29	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 16/458 登记生效日:20211019 变更事项:申请人变更前权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司变更后权利人:西安奕斯伟材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室变更事项:申请人变更后权利人:西安奕斯伟硅片技术有限公司

共 50 条

[1]

一种外延反应设备 [P].

王力 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN109594063A ,2019-04-09

[2]

一种外延反应设备 [P].

肖蕴章 ;

黄帅帅 ;

刘亮辉 ;

杨方 ;

刘佳明 ;

徐鑫 ;

经军辉 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN114411247A ,2022-04-29

[3]

一种变温外延反应设备 [P].

丁欣 .

中国专利 :CN117966261A ,2024-05-03

[4]

一种晶圆外延反应设备 [P].

刘凯 .

中国专利 :CN112216636A ,2021-01-12

[5]

门阀装置及外延反应设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

梁旭 ;

冯欣凯 .

中国专利 :CN222085280U ,2024-11-29

[6]

一种反应设备供气系统以及反应设备 [P].

张能 .

中国专利 :CN107583595A ,2018-01-16

[7]

一种反应设备 [P].

杨黎旭 ;

刘耀成 ;

王富 ;

王伟 .

中国专利 :CN111250018A ,2020-06-09

[8]

一种反应设备 [P].

王秋峰 ;

王晓东 ;

宋庆坤 ;

莫志朋 ;

晁伟 ;

夏楠 .

中国专利 :CN207856892U ,2018-09-14

[9]

一种反应设备 [P].

鲍求培 .

中国专利 :CN204973905U ,2016-01-20

[10]

一种反应设备 [P].

陆益展 ;

沈恒冠 ;

蔡运和 ;

朱珠 ;

戚洪亮 .

中国专利 :CN203090923U ,2013-07-31

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