一种真空镀膜中样品翻转装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110031442.2

申请日：

2021-01-11

公开(公告)号：

CN112877667B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

郑军赵栋才王启民张泽

申请人：

申请人地址：

243032 安徽省马鞍山市湖东路59号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1424 C23C1404 C23C1414

代理机构：

合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153

代理人：

王瑞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20210111
2021-06-01	公开	公开
2022-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜无遮挡样品翻转装置 [P].

赵栋才 ;

郑军 ;

王启明 ;

刘兴光 ;

张浩洋 ;

张子扬 .

中国专利 :CN113463056B ,2021-10-01

[2]

一种真空镀膜翻转装置 [P].

唐小红 ;

陈海通 ;

唐海波 ;

邓玲俐 .

中国专利 :CN220952037U ,2024-05-14

[3]

一种真空镀膜用翻转装置 [P].

韩瑞宾 .

中国专利 :CN218059177U ,2022-12-16

[4]

翻转装置及真空镀膜机 [P].

黄永长 ;

胡东旭 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN221797649U ,2024-10-01

[5]

翻转装置及真空镀膜机 [P].

黄永长 ;

胡东旭 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN120443128A ,2025-08-08

[6]

翻转装置和真空镀膜设备 [P].

么曼实 .

中国专利 :CN111850475A ,2020-10-30

[7]

翻转装置和真空镀膜设备 [P].

金晨 ;

杨卓 ;

李建银 .

中国专利 :CN110760811A ,2020-02-07

[8]

翻转装置和真空镀膜设备 [P].

么曼实 .

中国专利 :CN111850475B ,2024-03-22

[9]

一种真空镀膜工件盘翻转装置 [P].

任海宾 ;

党亚军 ;

马文鹏 .

中国专利 :CN214115710U ,2021-09-03

[10]

一种真空镀膜机用基片翻转装置 [P].

柳一民 ;

王静辉 .

中国专利 :CN208201116U ,2018-12-07

← 1 2 3 4 5 →