基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02821929.5

申请日：

2002-11-05

公开(公告)号：

CN100368794C

公开(公告)日：

2005-02-16

发明(设计)人：

藤崎畅夫伊藤一也

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01N21958

IPC分类号：

G01N2188

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

黄剑锋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-02-16	公开	公开
2008-02-13	授权	授权
2014-12-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101593356345 IPC(主分类):G01N 21/958 专利号:ZL028219295 申请日:20021105 授权公告日:20080213 终止日期:20131105
2005-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板检查装置 [P].

陆啸 ;

艾鹏 .

中国专利 :CN209373023U ,2019-09-10

[2]

基板检查装置 [P].

津田仁彦 ;

张春生 ;

郭卫红 .

中国专利 :CN102472711B ,2012-05-23

[3]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[4]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[5]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[6]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[7]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

[8]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

[9]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[10]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28

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