半导体装置和制造半导体装置的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201410222766.4
申请日
2014-05-23
公开(公告)号
CN104183638A
公开(公告)日
2014-12-03
发明(设计)人
金村雅仁
申请人
申请人地址
日本神奈川县
IPC主分类号
H01L29778
IPC分类号
H01L2906 H01L2908 H01L21335
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
朱胜;陈炜
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[11]
半导体装置及半导体装置的制造方法 [P]. 
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[12]
半导体衬底、半导体装置、半导体衬底的制造方法、以及半导体装置的制造方法 [P]. 
鹿内洋志 ;
佐藤宪 ;
篠宫胜 ;
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萩本和德 .
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[13]
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[14]
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田中成明 .
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[15]
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[16]
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[17]
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[18]
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[19]
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神崎庸辅 ;
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松尾拓哉 .
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[20]
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