锌铟锡氧化物基薄膜晶体管及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810036386.X

申请日：

2018-01-15

公开(公告)号：

CN108258055A

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

李然张希清苏金宝戴仕千麻尧斌田龙杰王琪王晔

申请人：

申请人地址：

100044 北京市海淀区西直门外上园村3号

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L2951 H01L2924 H01L2134

代理机构：

北京市商泰律师事务所 11255

代理人：

黄晓军

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 29/786 申请公布日:20180706
2018-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/786 申请日:20180115
2018-07-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铟基薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张希清 ;

李彬 ;

王海龙 ;

周东站 ;

彭云飞 ;

高耸 ;

衣立新 ;

王永生 .

中国专利 :CN103258859A ,2013-08-21

[2]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

王质武 .

中国专利 :CN104966739A ,2015-10-07

[3]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

孙博 .

中国专利 :CN105355664A ,2016-02-24

[4]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

陈晓威 .

中国专利 :CN111477687A ,2020-07-31

[5]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

迟世鹏 .

中国专利 :CN104617152A ,2015-05-13

[6]

一种铟锡锌氧化物同质薄膜晶体管及其制备方法 [P].

杨田林 ;

宋淑梅 ;

辛艳青 ;

王昆仑 ;

童杨 ;

王雪霞 .

中国专利 :CN103943683B ,2014-07-23

[7]

一种氧化锌基薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张希清 ;

周东站 ;

王海龙 ;

李彬 ;

高耸 ;

彭云飞 ;

王永生 .

中国专利 :CN103280463A ,2013-09-04

[8]

金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

余威 .

中国专利 :CN109659370A ,2019-04-19

[9]

金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

何佳新 .

中国专利 :CN112420849B ,2024-08-20

[10]

金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

何佳新 .

中国专利 :CN112420849A ,2021-02-26

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