一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420682977.1
申请日
2014-11-13
公开(公告)号
CN204224702U
公开(公告)日
2015-03-25
发明(设计)人
王振中
申请人
申请人地址
361015 福建省厦门市湖里区创业园伟业楼S301
IPC主分类号
C23C1626
IPC分类号
C23C1644
代理机构
代理人
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共 50 条
[1]
一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置 [P]. 
刘长江 ;
连榕 .
中国专利 :CN202913056U ,2013-05-01
[2]
制备石墨烯薄膜的化学气相沉积设备及方法 [P]. 
李雪松 .
中国专利 :CN105399082A ,2016-03-16
[3]
一种CVD化学气相沉积法制备石墨烯薄膜专用支架 [P]. 
郝振亮 ;
蔡金明 ;
陈其赞 ;
黄文添 .
中国专利 :CN216838170U ,2022-06-28
[4]
一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统 [P]. 
钟达 ;
史浩飞 ;
邵丽 ;
张鹏飞 ;
余杰 .
中国专利 :CN204356398U ,2015-05-27
[5]
一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置 [P]. 
刘长江 ;
连榕 .
中国专利 :CN203794983U ,2014-08-27
[6]
一种化学气相沉积法制备石墨烯薄膜的方法 [P]. 
崔成杰 ;
贾宇冲 ;
马俊杰 .
中国专利 :CN105734525A ,2016-07-06
[7]
一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法 [P]. 
胡宝山 ;
蔡霞 ;
金燕 .
中国专利 :CN112575310A ,2021-03-30
[8]
一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法 [P]. 
顾伟 ;
郑凯强 ;
刘冰之 ;
单婧媛 ;
高翾 .
中国专利 :CN113718230A ,2021-11-30
[9]
一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统 [P]. 
钟达 ;
史浩飞 ;
邵丽 ;
张鹏飞 ;
余杰 .
中国专利 :CN104451595B ,2015-03-25
[10]
一种化学气相沉积法制备石墨烯 [P]. 
金闯 ;
杨晓明 .
中国专利 :CN104085887A ,2014-10-08