一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410754784.7

申请日：

2014-12-11

公开(公告)号：

CN104451595B

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

钟达史浩飞邵丽张鹏飞余杰

申请人：

申请人地址：

401329 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C1601

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637517125 IPC(主分类):C23C 16/26 专利申请号:2014107547847 申请日:20141211
2015-03-25	公开	公开
2017-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN204356398U ,2015-05-27

[2]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN204474755U ,2015-07-15

[3]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN104388934B ,2015-03-04

[4]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积系统 [P].

王振中 .

中国专利 :CN204224702U ,2015-03-25

[5]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置 [P].

刘长江 ;

连榕 .

中国专利 :CN202913056U ,2013-05-01

[6]

一种化学气相沉积法制备石墨烯薄膜的方法 [P].

崔成杰 ;

贾宇冲 ;

马俊杰 .

中国专利 :CN105734525A ,2016-07-06

[7]

一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法 [P].

胡宝山 ;

蔡霞 ;

金燕 .

中国专利 :CN112575310A ,2021-03-30

[8]

制备石墨烯薄膜的化学气相沉积设备及方法 [P].

李雪松 .

中国专利 :CN105399082A ,2016-03-16

[9]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法 [P].

顾伟 ;

郑凯强 ;

刘冰之 ;

单婧媛 ;

高翾 .

中国专利 :CN113718230A ,2021-11-30

[10]

一种制备双层石墨烯的化学气相沉积方法 [P].

林时胜 ;

董策舟 .

中国专利 :CN103072978A ,2013-05-01

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