一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410754782.8

申请日：

2014-12-11

公开(公告)号：

CN104388934B

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

钟达史浩飞邵丽张鹏飞余杰

申请人：

申请人地址：

401329 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-04	公开	公开
2018-04-03	授权	授权
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637515808 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2014107547828 申请日:20141211

共 50 条

[1]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装装置 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN204474755U ,2015-07-15

[2]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN204356398U ,2015-05-27

[3]

一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN104451595B ,2015-03-25

[4]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置 [P].

刘长江 ;

连榕 .

中国专利 :CN202913056U ,2013-05-01

[5]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法 [P].

顾伟 ;

郑凯强 ;

刘冰之 ;

单婧媛 ;

高翾 .

中国专利 :CN113718230A ,2021-11-30

[6]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积系统 [P].

王振中 .

中国专利 :CN204224702U ,2015-03-25

[7]

一种用于转移石墨烯薄膜的工装装置 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN204434288U ,2015-07-01

[8]

一种用于转移石墨烯薄膜的工装装置 [P].

钟达 ;

史浩飞 ;

邵丽 ;

张鹏飞 ;

余杰 .

中国专利 :CN104445172A ,2015-03-25

[9]

一种化学气相沉积法制备石墨烯薄膜的方法 [P].

崔成杰 ;

贾宇冲 ;

马俊杰 .

中国专利 :CN105734525A ,2016-07-06

[10]

一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法 [P].

胡宝山 ;

蔡霞 ;

金燕 .

中国专利 :CN112575310A ,2021-03-30

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