图案化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910005762.X

申请日：

2009-02-06

公开(公告)号：

CN101556437A

公开(公告)日：

2009-10-14

发明(设计)人：

施仁杰叶孝蔚

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F700 G03F7004

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

姜燕;陈晨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-12-01	授权	授权
2009-10-14	公开	公开

共 50 条

[1]

图案化方法 [P].

王子嵩 .

中国专利 :CN106298507A ,2017-01-04

[2]

图案化的方法 [P].

陈薏新 ;

王明俊 ;

廖俊雄 ;

杨闵杰 .

中国专利 :CN101188188A ,2008-05-28

[3]

微影图案化方法 [P].

赖韦翰 ;

张庆裕 ;

王建惟 .

中国专利 :CN107065439A ,2017-08-18

[4]

光刻图案化的方法 [P].

赖韦翰 ;

王建惟 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108227409B ,2018-06-29

[5]

光刻图案化的方法 [P].

张莉琳 ;

张庆裕 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108333866B ,2018-07-27

[6]

光刻图案化的方法 [P].

陈彦豪 ;

赖韦翰 ;

王建惟 ;

林进祥 .

中国专利 :CN108121154A ,2018-06-05

[7]

图案化基板 [P].

约迪·格热希科维亚克 ;

安东尼·舍皮斯 ;

安东·J·德维利耶 .

中国专利 :CN114424321A ,2022-04-29

[8]

图案化底层结构的方法 [P].

陈韵安 ;

黄筱珊 ;

林晓江 .

中国专利 :CN117995658A ,2024-05-07

[9]

双重图案化的方法 [P].

李镇玮 ;

刘弘仁 .

中国专利 :CN103681255A ,2014-03-26

[10]

改善接触孔图案化的方法 [P].

蔡耀铭 .

中国专利 :CN1254715C ,2004-06-02

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