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一种半导体光刻加工用防护装置
被引：0
申请号：
CN202222474467.2
申请日：
2022-09-19
公开(公告)号：
CN218446372U
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
仇荣分
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区旺鸿路13-8-3号
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-03 | 授权 | 授权 |