设计热物理汽相淀积系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410003845.2

申请日：

2004-01-28

公开(公告)号：

CN1568107A

公开(公告)日：

2005-01-19

发明(设计)人：

J·M·格雷斯 D·R·弗雷曼 N·雷登 J·H·克卢格 S·A·范斯利克

申请人：

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

H05B3310

IPC分类号：

H05B3314 H05B3326 C23C1604

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

周慧敏;段晓玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-01-19	公开	公开
2009-04-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2006-04-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

物理汽相淀积靶结构以及处理物理汽相淀积靶的方法 [P].

J·比勒 .

中国专利 :CN1582343A ,2005-02-16

[2]

汽相淀积源和汽相淀积装置 [P].

吉川俊明 ;

真下精二 ;

福田直人 .

中国专利 :CN101041891B ,2007-09-26

[3]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

北原宏一 ;

高松勇吉 ;

森勇次 .

中国专利 :CN1316546A ,2001-10-10

[4]

化学汽相淀积设备和化学汽相淀积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

王宏兴 ;

小宫由直 ;

吴羽羚儿 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1392595A ,2003-01-22

[5]

物理汽相淀积靶及形成方法 [P].

V·莫汉 ;

J·李 ;

T·A·斯科特 .

中国专利 :CN1547623A ,2004-11-17

[6]

用于汽相淀积系统的衬底托架 [P].

理查德·I.·塞登 .

中国专利 :CN1737191A ,2006-02-22

[7]

物理汽相淀积靶及制造金属材料的方法 [P].

V·塞加尔 ;

S·费尔拉泽 ;

F·E·阿尔福特 .

中国专利 :CN1484711A ,2004-03-24

[8]

用于汽相淀积系统的磁锁闩 [P].

理查德·I.·塞登 ;

马库斯·K.·帝尔什 ;

杰里米·贺氏 .

中国专利 :CN1737192B ,2006-02-22

[9]

化学汽相淀积装置 [P].

高山徹 ;

犬岛 ;

尾高政一 ;

林茂则 ;

広濑直樹 .

中国专利 :CN87106283A ,1988-03-23

[10]

用于汽相淀积源的加热系统 [P].

B·迪赛尔-维达莱 ;

C·格拉尔 .

中国专利 :CN102762766B ,2012-10-31

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