一种铌酸锂薄膜光波导结构、芯片及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010399608.1
申请日
2020-05-12
公开(公告)号
CN113655564A
公开(公告)日
2021-11-16
发明(设计)人
李萍
申请人
申请人地址
300400 天津市北辰区双街镇双街可信产业园B10-5-101
IPC主分类号
G02B6122
IPC分类号
G02B613
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种铌酸锂薄膜光波导结构以及芯片 [P]. 
李萍 .
中国专利 :CN211786214U ,2020-10-27
[2]
一种薄膜铌酸锂光波导制备方法及薄膜铌酸锂光波导 [P]. 
孙兵兵 ;
陈娟 ;
杨晓丹 .
中国专利 :CN121232364A ,2025-12-30
[3]
铌酸锂光波导芯片 [P]. 
陈亦凡 ;
黄萌 .
中国专利 :CN211180281U ,2020-08-04
[4]
铌酸锂光波导芯片 [P]. 
陈亦凡 ;
黄萌 .
中国专利 :CN110568551A ,2019-12-13
[5]
一种铌酸锂薄膜光波导及其制备方法 [P]. 
向美华 ;
尹承静 ;
黄星武 .
中国专利 :CN116299857B ,2024-05-07
[6]
一种铌酸锂薄膜光波导芯片的光纤耦合结构 [P]. 
孙立 ;
胡金鑫 ;
刘晖 .
中国专利 :CN215264117U ,2021-12-21
[7]
一种铌酸锂光波导器件及其制备方法 [P]. 
帅垚 ;
高琴 ;
吴传贵 ;
罗文博 ;
乔石珺 ;
张万里 .
中国专利 :CN111175892A ,2020-05-19
[8]
铌酸锂薄膜光波导芯片的光纤耦合结构及光器件 [P]. 
李萍 .
中国专利 :CN211478703U ,2020-09-11
[9]
采用曲线光波导连接的铌酸锂薄膜双Y分支光波导调制器 [P]. 
田自君 ;
郑帅峰 ;
陈诚 ;
文利 .
中国专利 :CN112965270A ,2021-06-15
[10]
一种薄膜铌酸锂光波导芯片的抛光方法 [P]. 
侯松岩 ;
肖浩轩 ;
张佳骏 ;
许梦芳 ;
刘志宏 ;
张进成 ;
游淑珍 ;
郝跃 .
中国专利 :CN119065060A ,2024-12-03