用于确定图案化过程中的图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080024772.2

申请日：

2020-03-05

公开(公告)号：

CN113892059A

公开(公告)日：

2022-01-04

发明(设计)人：

马紫阳程进罗亚郑雷武郭欣王祯祥范永发陈峰陈怡吟张辰骥卢彦文

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G06N308 G06N2000

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-04	公开	公开
2022-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200305

共 50 条

[1]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN120178612A ,2025-06-20

[2]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN113892059B ,2025-05-06

[3]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

中国专利 :CN113196173A ,2021-07-30

[4]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

:CN113196173B ,2025-02-07

[5]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

:CN119846911A ,2025-04-18

[6]

用于图案化过程建模的方法 [P].

王祯祥 ;

陈峰 ;

M·A·法兰卡维拉 ;

J·W·必吉斯马 .

:CN114008533B ,2025-01-03

[7]

用于图案化过程建模的方法 [P].

王祯祥 ;

陈峰 ;

M·A·法兰卡维拉 ;

J·W·必吉斯马 .

中国专利 :CN114008533A ,2022-02-01

[8]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

:CN120143543A ,2025-06-13

[9]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

中国专利 :CN114207517A ,2022-03-18

[10]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

:CN114207517B ,2025-04-11

← 1 2 3 4 5 →