用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510116493.3

申请日：

2019-11-12

公开(公告)号：

CN119846911A

公开(公告)日：

2025-04-18

发明(设计)人：

李智钦莫磊张幼平

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G06N20/00 G06N3/045 G06N3/08 G06T7/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20191112
2025-04-18	公开	公开

共 50 条

[1]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

:CN113196173B ,2025-02-07

[2]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

中国专利 :CN113196173A ,2021-07-30

[3]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN120178612A ,2025-06-20

[4]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN113892059B ,2025-05-06

[5]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

中国专利 :CN113892059A ,2022-01-04

[6]

用于布局图案选择的方法和设备 [P].

陈伟杰 .

:CN113366388B ,2025-03-04

[7]

用于布局图案选择的方法和设备 [P].

陈伟杰 .

中国专利 :CN113366388A ,2021-09-07

[8]

用于布局图案选择的方法和设备 [P].

陈伟杰 .

:CN120181019A ,2025-06-20

[9]

制造用于安全装置的图像图案的方法 [P].

A·李斯特 .

中国专利 :CN109641477A ,2019-04-16

[10]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

:CN120143543A ,2025-06-13

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