用于布局图案选择的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080011671.1

申请日：

2020-01-10

公开(公告)号：

CN113366388B

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

陈伟杰

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/20 G06F30/30 G06N20/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

用于布局图案选择的方法和设备 [P].

陈伟杰 .

中国专利 :CN113366388A ,2021-09-07

[2]

用于布局图案选择的方法和设备 [P].

陈伟杰 .

:CN120181019A ,2025-06-20

[3]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

:CN113196173B ,2025-02-07

[4]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

中国专利 :CN113196173A ,2021-07-30

[5]

用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法 [P].

李智钦 ;

莫磊 ;

张幼平 .

:CN119846911A ,2025-04-18

[6]

包括使用经训练机器学习模型的光学邻近效应校正的用于确定掩模图案的方法 [P].

曹宇 ;

陶峻 ;

张权 ;

束永生 ;

冯韦钧 .

中国专利 :CN115087925A ,2022-09-20

[7]

用于路由路径选择的方法和系统 [P].

A·A·G·巴里耶 ;

S·南蒂 ;

Y·T·M·勒图秦 ;

C·贝尔加尼 ;

E·瓦尔莱特 .

中国专利 :CN114579845A ,2022-06-03

[8]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN120178612A ,2025-06-20

[9]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

:CN113892059B ,2025-05-06

[10]

用于确定图案化过程中的图案的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 ;

范永发 ;

陈峰 ;

陈怡吟 ;

张辰骥 ;

卢彦文 .

中国专利 :CN113892059A ,2022-01-04

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