微机电系统和纳米机电系统结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980024636.0

申请日：

2019-03-14

公开(公告)号：

CN111954639A

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

J·洪 T·常 E·陈文兵潘尧令 S·安德鲁斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

丁晓峰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20190314

共 50 条

[1]

微机电系统和纳米机电系统结构 [P].

J·洪 ;

T·常 ;

E·陈 ;

文兵 ;

潘尧令 ;

S·安德鲁斯 .

美国专利 :CN111954639B ,2024-09-13

[2]

微机电系统结构 [P].

林文山 ;

毛俊凯 ;

陈志远 ;

陈建铭 ;

许丰家 ;

郭乃豪 .

美国专利 :CN117376792A ,2024-01-09

[3]

微机电系统结构 [P].

A.斯坦珀 ;

C.V.扬斯 .

中国专利 :CN102906011A ,2013-01-30

[4]

微机电系统结构 [P].

李建兴 ;

谢聪敏 ;

操礼齐 ;

刘志成 .

中国专利 :CN102452635B ,2012-05-16

[5]

微机电系统结构 [P].

毛俊凯 ;

陈建铭 ;

林文山 ;

郭乃豪 .

美国专利 :CN118785063A ,2024-10-15

[6]

微机电系统与微机电系统的封装结构 [P].

杨玉婷 ;

梅嘉欣 .

中国专利 :CN214592691U ,2021-11-02

[7]

微机电系统与微机电系统的封装结构 [P].

唐行明 ;

梅嘉欣 ;

张永强 .

中国专利 :CN212677376U ,2021-03-09

[8]

微机电系统与微机电系统的封装结构 [P].

杨玉婷 ;

梅嘉欣 .

中国专利 :CN214591981U ,2021-11-02

[9]

光子微机电系统和结构 [P].

克拉伦斯·徐 .

中国专利 :CN102902060B ,2013-01-30

[10]

光子微机电系统和结构 [P].

克拉伦斯·徐 .

中国专利 :CN1755498A ,2006-04-05

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