多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410100598.8

申请日：

2004-10-14

公开(公告)号：

CN100375233C

公开(公告)日：

2005-05-18

发明(设计)人：

朴志容朴惠香

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21324 H01L2120 B23K2600 C30B2800

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-03-12	授权	授权
2009-02-11	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:三星SDI株式会社变更后权利人:三星移动显示器株式会社变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道登记生效日:20090109
2005-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-11-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101464348943 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2004101005988 变更事项:专利权人变更前权利人:三星移动显示器株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121017
2005-05-18	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

秦明 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN1316770A ,2001-10-10

[2]

制造多晶硅薄膜的方法 [P].

严枰镕 .

中国专利 :CN101317249B ,2008-12-03

[3]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张茂益 .

中国专利 :CN1315156C ,2005-02-16

[4]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张茂益 .

中国专利 :CN1567534A ,2005-01-19

[5]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张茂益 .

中国专利 :CN1581427A ,2005-02-16

[6]

制造多晶硅薄膜的方法 [P].

李沅泰 ;

赵汉植 ;

金亨洙 .

中国专利 :CN102414791B ,2012-04-11

[7]

多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备 [P].

朴志容 ;

朴惠香 .

中国专利 :CN1619775A ,2005-05-25

[8]

多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅 [P].

漆原诚 ;

水岛一树 .

中国专利 :CN101956232B ,2011-01-26

[9]

用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件 [P].

李基龙 .

中国专利 :CN1310338C ,2003-07-30

[10]

低温多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张世昌 ;

洪郁婷 ;

江典声 ;

李光振 ;

林敬伟 ;

蔡耀铭 .

中国专利 :CN1635610A ,2005-07-06

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