垂直铁电场效应晶体管的制备方法及垂直铁电场效应晶体管

被引：0

申请号：

CN202210626127.9

申请日：

2022-06-02

公开(公告)号：

CN114999919A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

田博博冯光迪朱秋香褚君浩段纯刚

申请人：

申请人地址：

200000 上海市普陀区中山北路3663号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2978

代理机构：

苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙) 32398

代理人：

张文婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	公开	公开
2022-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20220602

共 50 条

[1]

具有混合阱的铁电场效应晶体管 [P].

S·邓克尔 ;

D·M·克莱迈尔 ;

赵智兴 ;

H·穆拉奥斯曼诺维奇 .

德国专利 :CN117855271A ,2024-04-09

[2]

垂直场效应晶体管 [P].

姜明吉 ;

朴乘汉 ;

朴容喜 ;

白尚训 ;

李相遇 ;

千健龙 ;

黄成万 .

中国专利 :CN107452802A ,2017-12-08

[3]

垂直场效应晶体管 [P].

于贤根 ;

弗兰基·索 ;

金渡泳 ;

布哈本德拉·K·普拉丹 .

中国专利 :CN108496240A ,2018-09-04

[4]

摩擦电场效应晶体管 [P].

张弛 ;

唐伟 ;

张丽敏 ;

王中林 .

中国专利 :CN104600114B ,2015-05-06

[5]

垂直场效应晶体管和用于构造垂直场效应晶体管的方法 [P].

J·巴林豪斯 .

中国专利 :CN115136321A ,2022-09-30

[6]

垂直场效应晶体管及用于构造垂直场效应晶体管的方法 [P].

J·巴林豪斯 ;

J·鲁德哈德 .

中国专利 :CN114830350A ,2022-07-29

[7]

场效应晶体管 [P].

小桥昌浩 ;

半田敬信 ;

荒牧晋司 ;

酒井良正 .

中国专利 :CN100594617C ,2005-09-21

[8]

制造垂直场效应晶体管的方法和场效应晶体管 [P].

H·图斯 .

中国专利 :CN100464430C ,2006-12-06

[9]

场效应晶体管 [P].

小桥昌浩 ;

半田敬信 ;

荒牧晋司 ;

酒井良正 .

中国专利 :CN101667624A ,2010-03-10

[10]

铁电场效应晶体管存储器及其制备方法 [P].

姜鹏飞 ;

徐盼 ;

彭学阳 ;

罗庆 .

中国专利 :CN121152214A ,2025-12-16

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