一种晶圆片的抛光夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621173789.1

申请日：

2016-11-02

公开(公告)号：

CN206263785U

公开(公告)日：

2017-06-20

发明(设计)人：

徐云明徐明阳

申请人：

申请人地址：

314023 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1108号

IPC主分类号：

B24B4106

IPC分类号：

B24B100

代理机构：

北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489

代理人：

吴建锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片抛光夹具 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215357930U ,2021-12-31

[2]

晶圆片快速抛光用夹具 [P].

陈琳 .

中国专利 :CN209681915U ,2019-11-26

[3]

一种晶圆片的加工方法及其抛光夹具 [P].

徐云明 ;

徐明阳 .

中国专利 :CN106625202A ,2017-05-10

[4]

一种晶圆抛光加工夹具 [P].

望运舟 .

中国专利 :CN222726415U ,2025-04-08

[5]

一种晶圆片抛光垫 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214923290U ,2021-11-30

[6]

一种晶圆片及用于该晶圆片的抛光机构 [P].

祝斌 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

杨春雪 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214685872U ,2021-11-12

[7]

一种晶圆片的研磨抛光装置 [P].

胡德立 .

中国专利 :CN220881664U ,2024-05-03

[8]

一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置 [P].

巩铁建 ;

陶为银 .

中国专利 :CN213053310U ,2021-04-27

[9]

晶圆片研磨抛光装置 [P].

周明明 ;

黄鑫星 .

中国专利 :CN220312990U ,2024-01-09

[10]

一种晶圆片单面研磨夹具 [P].

刘瑞雄 ;

廖彬 ;

曾琦 ;

周铁军 .

中国专利 :CN220762205U ,2024-04-12

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