一种用于半导体晶片冷却的装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201720309793.4
申请日
2017-03-28
公开(公告)号
CN206628461U
公开(公告)日
2017-11-10
发明(设计)人
魏兴政 李浩
申请人
申请人地址
250200 山东省济南市章丘区明水街道办事处赭山工业园
IPC主分类号
H01L23367
IPC分类号
H05K720
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
半导体晶片高效冷却装置 [P]. 
李维繁星 ;
张春霞 ;
李北印 ;
沈红星 ;
陈泳宇 .
中国专利 :CN222546313U ,2025-02-28
[2]
半导体晶片冷却装置 [P]. 
野口贵也 .
中国专利 :CN102376527A ,2012-03-14
[3]
半导体晶片冷却装置 [P]. 
野口贵也 .
中国专利 :CN104362113A ,2015-02-18
[4]
半导体晶片抛光大盘冷却装置 [P]. 
赵海峰 .
中国专利 :CN217413643U ,2022-09-13
[5]
一种用于半导体晶片的清洗装置 [P]. 
施超 .
中国专利 :CN215299188U ,2021-12-24
[6]
一种用于半导体晶片的清洗装置 [P]. 
黄锦局 ;
阮秀清 .
中国专利 :CN208695808U ,2019-04-05
[7]
用于半导体晶片的转序装置 [P]. 
夏继良 ;
崔秀君 ;
王清玉 ;
王杨 .
中国专利 :CN220367899U ,2024-01-19
[8]
用于处理半导体晶片的半导体处理设备 [P]. 
J·H·张 .
中国专利 :CN203503622U ,2014-03-26
[9]
一种用于半导体晶片厚度检测装置 [P]. 
林鹏 ;
刘志清 ;
胡巍 .
中国专利 :CN222505238U ,2025-02-18
[10]
一种用于半导体晶片厚度测量装置 [P]. 
崔军 .
中国专利 :CN223525744U ,2025-11-07