基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880090875.1

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN111886677A

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

太田乔林昌之奥田次郎中岛章宏

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L21027 H01L21304

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨贝贝;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20181228
2020-11-03	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

太田乔 ;

林昌之 ;

奥田次郎 ;

中岛章宏 .

日本专利 :CN111886677B ,2024-09-06

[2]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

大田垣崇 ;

林航之介 ;

桧森洋辅 .

中国专利 :CN104952771A ,2015-09-30

[3]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

佐佐木悠太 ;

塙洋祐 ;

滩原壮一 ;

上田大 ;

北川广明 ;

奥村勝弥 .

中国专利 :CN107481954A ,2017-12-15

[4]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

宫川纱希 ;

佐藤雅伸 ;

堀口博司 .

日本专利 :CN117941035A ,2024-04-26

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

泉昭 ;

佐野谦一 .

中国专利 :CN1794430A ,2006-06-28

[6]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

合田和树 ;

岩田敬次 ;

松永恭幸 ;

高桥朋宏 .

中国专利 :CN114068358A ,2022-02-18

[7]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN104992912A ,2015-10-21

[8]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

小林信雄 ;

古川长树 ;

山崎克弘 ;

齐藤裕树 .

中国专利 :CN107275257A ,2017-10-20

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

仓崎浩二 ;

枝光建治 ;

佐藤昌治 ;

武知圭 ;

松村刚至 ;

内田博章 ;

山本滋 ;

高桥朋宏 ;

岩谷浩伸 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN108666235A ,2018-10-16

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

菅原雄二 ;

东克荣 ;

竹松佑介 ;

温井宏树 ;

青木拓 .

中国专利 :CN110262198A ,2019-09-20

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