用于测量系统中的测量方法和测量设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680028251.4

申请日：

2006-08-03

公开(公告)号：

CN101233384A

公开(公告)日：

2008-07-30

发明(设计)人：

B·彼得森

申请人：

申请人地址：

瑞典纳卡斯特兰德

IPC主分类号：

G01B7004

IPC分类号：

G01B2120 G01B5004 G01C2116

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

戈泊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-30	公开	公开
2014-01-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685696897 IPC(主分类):G01B 7/004 专利申请号:2006800282514 申请公布日:20080730

共 50 条

[1]

测量系统、测量设备及测量方法 [P].

朱百贤 ;

小堺修 ;

寺岛彻 .

日本专利 :CN121240823A ,2025-12-30

[2]

用于确定测量对象中的缺陷的THz测量设备和THz测量方法 [P].

R·克洛泽 .

中国专利 :CN112805552A ,2021-05-14

[3]

测量方法和测量设备 [P].

泷口清昭 ;

须田义大 ;

山边茂之 ;

河野贤司 ;

林达郎 ;

山田耕太郎 ;

正木信男 .

中国专利 :CN104136930A ,2014-11-05

[4]

测量方法和测量设备 [P].

永井胜之 .

中国专利 :CN102445195A ,2012-05-09

[5]

测量系统和测量方法 [P].

石川雅弘 ;

萱场義隆 ;

吹野豪 ;

村松弘隆 .

中国专利 :CN109931898B ,2019-06-25

[6]

测量方法和测量系统 [P].

藤原光 .

日本专利 :CN118103663A ,2024-05-28

[7]

测量系统、光刻设备和测量方法 [P].

马克·威廉姆斯·玛丽亚·范德威吉斯特 ;

恩格尔伯塔斯·安东尼纳斯·弗朗西丝克斯·范德帕斯奇 ;

克恩·雅克布斯·约翰尼斯·玛丽亚·扎安尔 .

中国专利 :CN101276155B ,2008-10-01

[8]

测量系统、光刻设备和测量方法 [P].

马克·威廉姆斯·玛丽亚·范德威吉斯特 ;

恩格尔伯塔斯·安东尼纳斯·弗朗西丝克斯·范德帕斯奇 ;

克恩·雅克布斯·约翰尼斯·玛丽亚·扎安尔 .

中国专利 :CN102096332A ,2011-06-15

[9]

测量装置、测量系统和测量方法 [P].

饭田幸生 ;

山田笃 ;

市原卓哉 ;

广井聪幸 .

中国专利 :CN113795750A ,2021-12-14

[10]

测量设备、测量系统及测量方法 [P].

稲垣智裕 ;

平田阳一 .

中国专利 :CN103988485B ,2014-08-13

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