一种防止CBO晶体生长过程掉入熔体的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201710008604.4
申请日
2017-01-06
公开(公告)号
CN106637407A
公开(公告)日
2017-05-10
发明(设计)人
王昌运
申请人
申请人地址
350003 福建省福州市软件大道89号F区9号楼
IPC主分类号
C30B2922
IPC分类号
C30B912
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
在晶体生长过程中具有熔体掺杂功能的晶体生长装置 [P]. 
郑沉 ;
方峰 ;
邓德辉 ;
孙韶辉 ;
周旗钢 .
中国专利 :CN101173368A ,2008-05-07
[2]
一种防止晶体生长过程中晶体开裂的方法 [P]. 
余剑云 ;
佟辉 ;
郑伟 ;
张学锋 ;
赵科新 ;
郭东民 .
中国专利 :CN105648522A ,2016-06-08
[3]
一种晶体生长过程高宽比控制方法 [P]. 
潘丰 ;
王蕾 .
中国专利 :CN110359081B ,2019-10-22
[4]
在晶体生长过程中使用的硅熔体的锶掺杂 [P]. 
R·J·菲利浦 ;
S·J·克尔特纳 ;
J·D·霍德尔 .
中国专利 :CN1343264A ,2002-04-03
[5]
在晶体生长过程中使用的硅熔体的钡掺杂 [P]. 
R·J·飞利普斯 ;
S·J·克勒特尼尔 ;
J·D·赫德尔 .
中国专利 :CN1166822C ,2002-04-03
[6]
一种PVT晶体生长过程精确可控的生长装置 [P]. 
忻隽 ;
孔海宽 ;
涂小牛 ;
胡阳 .
中国专利 :CN120608319A ,2025-09-09
[7]
一种晶体生长过程的加热电源控制方法 [P]. 
王军 ;
卜俊鹏 .
中国专利 :CN104965538A ,2015-10-07
[8]
一种晶体生长过程中生长溶液浓度的在线检测方法 [P]. 
潘丰 ;
朱振新 .
中国专利 :CN111855490B ,2020-10-30
[9]
一种晶体生长过程热量管理优化方法及系统 [P]. 
蒋国忠 ;
伍锐 ;
高琪 ;
时刚 ;
戴少涛 ;
伍宇扬 ;
伍铭越 ;
何昕 ;
吴学军 .
中国专利 :CN119292384B ,2025-05-30
[10]
一种晶体生长过程能耗智能检测方法及系统 [P]. 
郑东 ;
肖迪 ;
肖燕青 ;
王鑫 ;
宋百乐 ;
王艳华 .
中国专利 :CN118964866B ,2025-01-24