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光学邻近修正模型的建立方法以及光学邻近修正方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911380295.9
申请日：
2019-12-27
公开(公告)号：
CN113050363A
公开(公告)日：
2021-06-29
发明(设计)人：
陈权
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号
IPC主分类号：
G03F136
IPC分类号：
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
高静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20191227 |