光学邻近修正方法及光学邻近修正系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310918353.9

申请日：

2023-07-25

公开(公告)号：

CN119376173A

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

孙松曹清晨师江柳

申请人：

北京超弦存储器研究院

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区科创十街18号院11号楼四层401室

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

成亚婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20230725
2025-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近修正模型、光学邻近修正方法 [P].

杜杳隽 .

中国专利 :CN111443567A ,2020-07-24

[2]

光学邻近修正方法 [P].

王辉 .

中国专利 :CN104570585B ,2015-04-29

[3]

光学邻近修正方法 [P].

严中稳 ;

王晨 ;

程仁强 ;

张戈 .

中国专利 :CN117471843A ,2024-01-30

[4]

光学邻近修正方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN120255261A ,2025-07-04

[5]

光学邻近修正模型的建模方法、光学邻近修正方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN120335258A ,2025-07-18

[6]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[7]

光学邻近修正方法、光学邻近修正系统及光罩的制作方法 [P].

刘蕊华 .

中国专利 :CN118625589A ,2024-09-10

[8]

光学邻近修正模型的建立方法以及光学邻近修正方法 [P].

陈权 .

中国专利 :CN113050363B ,2025-03-18

[9]

光学邻近修正模型的建立方法以及光学邻近修正方法 [P].

陈权 .

中国专利 :CN113050363A ,2021-06-29

[10]

光学邻近效应的修正方法 [P].

罗连波 ;

刘文东 ;

丁丽华 ;

程仁强 .

中国专利 :CN117518726A ,2024-02-06

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