光学邻近修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310505098.1

申请日：

2013-10-23

公开(公告)号：

CN104570585B

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

王辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611393457 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:2013105050981 申请日:20131023
2018-10-16	授权	授权
2015-04-29	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近修正模型、光学邻近修正方法 [P].

杜杳隽 .

中国专利 :CN111443567A ,2020-07-24

[2]

光学邻近修正模型的建模方法、光学邻近修正方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN120335258A ,2025-07-18

[3]

光学邻近修正方法 [P].

张戈 ;

刘文东 .

中国专利 :CN117930579A ,2024-04-26

[4]

光学邻近修正方法 [P].

从传飞 .

中国专利 :CN118884774A ,2024-11-01

[5]

光学邻近修正方法 [P].

严中稳 ;

王晨 ;

程仁强 ;

张戈 .

中国专利 :CN117471843A ,2024-01-30

[6]

光学邻近修正方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN120255261A ,2025-07-04

[7]

光学邻近修正方法及光学邻近修正系统 [P].

孙松 ;

曹清晨 ;

师江柳 .

中国专利 :CN119376173A ,2025-01-28

[8]

光学邻近效应的修正方法 [P].

罗连波 ;

刘文东 ;

丁丽华 ;

程仁强 .

中国专利 :CN117518726A ,2024-02-06

[9]

光学邻近修正模型的建立方法以及光学邻近修正方法 [P].

陈权 .

中国专利 :CN113050363B ,2025-03-18

[10]

光学邻近修正模型的建立方法以及光学邻近修正方法 [P].

陈权 .

中国专利 :CN113050363A ,2021-06-29

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